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ADVANCED COMPONENT CLEANING

S-UV Reinigungssystem 

UV-basierte Reinigungslösung für UHV- und Halbleiteranwendungen.

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Warum S-UV?

Hohe Sauberkeit ist die Grundlage für eine zuverlässige Hochvakuum-Performance. Die UV-Reinigung erzielt hervorragende Reinigungsergebnisse und kann gleichzeitig den Energieverbrauch sowie die Prozesszeiten im Vergleich zu herkömmlichen Bake-out-Verfahren deutlich reduzieren. Dadurch lassen sich Betriebskosten und Durchsatz optimieren.

Warum Sauberkeit zählt

In Hochvakuumumgebungen beeinträchtigen selbst geringste Verunreinigungen die Leistung und Zuverlässigkeit. Kohlenwasserstoffe und Rückstände erhöhen das Ausgasen, verschlechtern die Vakuumqualität und können das Endprodukt beeinträchtigen.

Die Herausforderung

Konventionelle Reinigungsverfahren sind oft zeitaufwendig, energieintensiv oder für empfindliche Komponenten ungeeignet. Eine Reinigungslösung zu finden, die sowohl effektiv als auch schonend ist und gleichzeitig einen hohen Durchsatz ermöglicht, bleibt eine zentrale Herausforderung moderner Produktionsumgebungen.

Die Lösung

Die UV-Reinigung bietet eine schnelle, effiziente und Niedertemperatur-Alternative zur Entfernung von Verunreinigungen. Ein System mit dem Ziel, den Energieverbrauch, die Prozesszeiten und den CO₂-Fußabdruck im Vergleich zu konventionellen Bake-out-Verfahren zu reduzieren.

S-UV Reinigungs- und RGA-Systeme im Überblick

S‑UV‑Reinigungs‑ Kompaktsystem

  • Geringer Platzbedarf

  • Kosteneffizient

  • Kurze Evakuierungszeiten und schnelle Prozesszyklen

  • Fahrbares System für eine flexible Positionierung

  • Nutzbares Volumen von ca. 60 l

S‑UV‑Reinigungs‑ Modulsystem

  • Kompaktes Reinraumdesign

  • Modulares Konzept für einfache Erweiterungen und Anpassungen

  • Einfache RGA-basierte Sauberkeitsverifizierung

  • Keine Wärmeeinbringung, da kein Bake-out erforderlich ist

  • Nutzbares Volumen von 0,5 bis 2,0 m³

S‑UV‑Reinigungs- und RGA-System

  • Skalierbar auf große Abmessungen

  • Integration in Reinraumwände möglich

  • Integrierte RGA-Analyse einschließlich Kalibrierung

  • Keine Wärmeeinbringung, da kein Bake-out erforderlich ist

S‑UV‑Reinigungs-, Bake-out- und RGA-System

  • Integration in Reinraumwände möglich

  • Integrierte RGA-Analyse einschließlich Kalibrierung

  • Einfache manuelle Reinigung polierter Innenflächen

  • Bake-out bis 150 °C möglich

Sie suchen die passende S-UV-Konfiguration?

Kontaktieren Sie uns

Einfache Bedienung.
Intelligente Steuerung.
Nahtlose Integration.

Das S‑UV-System vereint eine benutzerfreundliche Bedienung mit umfassender Prozesstransparenz und gibt Anwendern während des gesamten Reinigungsprozesses jederzeit volle Kontrolle und Sicherheit.

Für die nahtlose Integration in automatisierte Fertigungsumgebungen konzipiert, unterstützt das System stabile und reproduzierbare Prozesse bei gleichzeitig reduzierter betrieblicher Komplexität.

Intelligente Diagnosefunktionen, klare Transparenz der Prozessdaten und ein zuverlässiges Datenmanagement tragen dazu bei, die Anlagenverfügbarkeit zu erhöhen, Entscheidungen zu erleichtern und eine langfristig effiziente Produktion zu unterstützen.

Hauptmerkmale:

  • Rollenbasierte Benutzeroberfläche
  • OPC-UA-Kommunikation
  • Echtzeitüberwachung von System- und Pumpenparametern
  • Automatische Pumpensteuerung auf Basis der Druckbedingungen
  • Alarm- und Ereignisprotokollierung mit Diagnosedaten
  • Datenerfassung und Analysemöglichkeiten
  • Fernzugriff über Weboberfläche
  • Export von Betriebs- und Servicedaten
  • Unterstützung für Predictive Maintenance und Fehlerdiagnose

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Hohe Materialkompatibilität

Die UV-Reinigung ist ein schonendes, nicht destruktives Verfahren, das mit einer Vielzahl von Werkstoffen kompatibel ist und sich daher für zahlreiche Präzisionsanwendungen eignet:

  • Metalle (z. B. Edelstahl, Aluminium, sauerstofffreies Kupfer)
  • Glas und Quarz
  • Keramiken und Saphir
  • Halbleitermaterialien (z. B. Silizium, GaAs)
  • Hochleistungspolymere und Elastomere (z. B. PEEK, Viton)
  • Optische Komponenten

S-UV-Reinigung selbst erleben

Bewerten Sie die Leistungsfähigkeit der S-UV-Reinigung an Ihren eigenen Komponenten.

Besuchen Sie unsere Anlage oder senden Sie uns Ihre Bauteile zu.

Gemeinsam mit Settels Savenije, unserem Entwicklungspartner für die S-UV-Reinigung, testen, analysieren und bewerten wir die Reinigungsleistung und liefern Ihnen belastbare Ergebnisse als Grundlage für Ihre Entscheidung.

Teststandorte:

  • STREICHER Plzen, K Lomu 426, 332 09 Stenovice, Tschechische Republik
  • Settels Savenije, Achtseweg Zuid 211, 5651 GW Eindhoven, Niederlande

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Kontakt aufnehmen

Interessiert an unseren S‑CUBE Kammern oder TVACs?
Nehmen Sie über das untenstehende Kontaktformular Kontakt mit uns auf.

Kontaktformular

Sollten unsere modularen Kammern Ihre Anforderungen nicht vollständig erfüllen, entwickeln und liefern wir maßgeschneiderte, geschweißte Vakuumkammern nach Ihren Spezifikationen.
Für weitere Informationen besuchen Sie STREICHER Advanced Vacuum.

Advanced Vacuum

Andere Lösungen

S-CUBE Kammer

  • MODULARITÄT
    Die Ausrichtung der Wände sowie die Position aller Paneele und Scharniere sind flexibel anpassbar
  • KONNEKTIVITÄT
    Maßgeschneiderte Lösung
  • LIEFERZEITEN
    8–14 Arbeitswochen einschließlich der Kammerkonstruktion, abhängig von der Komplexität der Anwendung

S-CUBE TVAC+

  • Smart
    Einfache und clevere Anpassungen in der Zukunft möglich
  • Simple
    Plug & Play-Lösungen mit Spitzenleistung
  • Sooo flexible
    Durch viele Varianten an jeden Prozess anpassbar

Individuelle Kammern

  • ENTWICKELT FÜR IHRE ANFORDERUNGEN
    Individuell auf Ihren Prozess und Ihre Anforderungen abgestimmt
  • NACHGEWIESENE VAKUUMKOMPETENZ
    Verlässlicher Partner für Forschung, Hightech und Raumfahrt
  • VON DER IDEE BIS ZUR INBETRIEBNAHME
    Komplette Entwicklung, Fertigung, Montage und Prüfung aus einer Hand